半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備工作原理及處理過(guò)程，中天恒遠(yuǎn)編輯李德馨認(rèn)真總結(jié)整理了相關(guān)的知識(shí)，下面為大家詳細(xì)講解一下，希望對(duì)您有所啟發(fā)。
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半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備工作原理及處理過(guò)程，小編聽(tīng)取根據(jù)技術(shù)人員的介紹，認(rèn)真整理總結(jié)了一下，為您詳細(xì)介紹
一，半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備工作原理
種：一般通過(guò)陽(yáng)陰離子交換樹(shù)脂取得的去離子水，出水電導(dǎo)率可降到10us/cm以下，再經(jīng)過(guò)混床就可以達(dá)到1us/cm以下了。但是這種方法做出來(lái)的水成本極高，而且顆粒雜質(zhì)太多，達(dá)不到理想的要求。目前已較少采用了。
第二種：預(yù)處理(即砂碳過(guò)濾器+精密過(guò)濾器)+反滲透+混床工藝這種方法是目前采用比較多的，因?yàn)榉礉B透投資成本也不算高，可以去除90%已上的水中離子，剩下的離子再通過(guò)混床交換除去，這樣可使出水電導(dǎo)率：0.06左右。這樣是目前比較流行的方法。
第三種：前處理與第二種方法一樣使用反滲透，只是后面使用的混床采用EDI連續(xù)除鹽膜塊代替，這樣就不用酸堿再生樹(shù)脂，而是用電再生。這就徹底使整個(gè)過(guò)程無(wú)污染了，經(jīng)過(guò)去離子水設(shè)備處理后的水質(zhì)可達(dá)到15M以上。但這這種方法的前期投資比較多，運(yùn)行成本低。
二，半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備處理過(guò)程
先通過(guò)石英砂過(guò)濾顆粒較粗的雜質(zhì)，然后高壓通過(guò)反滲透膜，分離出溶劑與溶液。比較后一般還要經(jīng)過(guò)一步紫外殺菌以去除水中的微生物。假如此時(shí)電阻率還沒(méi)有達(dá)到要求的話，可以再進(jìn)行一次離子交換過(guò)程，比較高電阻率可達(dá)到18兆。半導(dǎo)體行業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水。
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