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    我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

    作者:北京中天恒遠(yuǎn) 發(fā)布于:2014-10-10 08:45:09瀏覽量:

    水處理設(shè)備

    我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

    化學(xué)指標(biāo)單位:μg/L

    序號

    水質(zhì)項目

    一級高純水指標(biāo)

    二級高純水指標(biāo)

    1

    電阻率(25℃)MΩ·cm

    ≥15

    ≥10

    2

    電導(dǎo)率,μs/cm

    0.05

    0.1

    3

    PH

    6.87.2

    6.67.4

    4

    細(xì)菌總數(shù),個/mL

    3

    9

    5

    微粒(直徑>0.5μm,粒/mL

    150

    300

    6

    二氧化硅

    10

    20

    7

    有機物(以COD計)

    0.3

    0.5

    8

     Na

    0.5

    2

    9

     Fe

    1

    2

    10

     Cu

    0.5

    1

    11

     Ca

    1

    3

    12

     Mg

    0.2

    1

    13

     Zn

    0.5

    1

    14

     Mn

    0.2

    0.5

    說明:①一級高純水適用于大規(guī)模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
      、诙壐呒兯m用于一般電路,分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
      、郾颈戆1980年電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)摘錄。

      本條信息版權(quán)歸北京中天恒遠(yuǎn)水處理設(shè)備公司所有,轉(zhuǎn)載請注明http://www.rdsmt.com出處。

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